產(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
在當(dāng)今連接日益緊密的世界中，對超出常規(guī)電子產(chǎn)品的新型微米和納米級設(shè)備的需求不斷增長。這些器件通過IC制造工具制造時(shí)往往需采用非標(biāo)準(zhǔn)工藝， 而依賴于微米和納米制造技術(shù)設(shè)備的生產(chǎn)非常昂貴且耗時(shí)。
在過去的幾年中，Inchfab一直致力于開發(fā)超低成本微細(xì)加工和納米加工設(shè)備的完整平臺(tái)，更經(jīng)濟(jì)地生產(chǎn)電子、機(jī)械、化學(xué)和生物設(shè)備。Inchfab將先進(jìn)的處理能力與大尺寸的基板分離，Inchfab已經(jīng)證明，使用較小的基板也可以提高性能，并優(yōu)于大尺寸基板。
遇到的問題
INCHFBA
在基板制造過程中，所需的薄膜材料需用化學(xué)氣相淀積來制備。化學(xué)氣相淀積是把各成分元素以及摻雜劑都以氣體形式導(dǎo)入反應(yīng)爐，在晶圓表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而生成所需的固態(tài)薄膜并淀積在其表面。
在化學(xué)氣相沉積中，真空是必須的，因?yàn)樵谟写髿鈿怏w存在的情況下，化學(xué)反應(yīng)是不起作用的。
研發(fā)意味著測試，允許障礙和反應(yīng)性氣體的新配方，可能多次改變流量比和氣體，且所有的必須同時(shí)保持準(zhǔn)確，氣體流量控制的準(zhǔn)確性不言而喻。
解決方案
ALICAT
Alicat為幫助Inchfab克服這一挑戰(zhàn)提供了的準(zhǔn)確性、響應(yīng)能力和控制氣體流量需求。Alicat半導(dǎo)體壓力控制器和MFC系列質(zhì)量流量控制器為Inchfab提供了一個(gè)性能、可靠性和價(jià)格之間無需折衷的解決方案，這使其成為Inchfab系統(tǒng)的選擇。
Alicat半導(dǎo)體MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用了層流差壓(DP)技術(shù)，可同時(shí)測量98種氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，并進(jìn)行全溫度和壓力補(bǔ)償。MCE系列控制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控制響應(yīng)時(shí)間為50-100毫秒。Alicat質(zhì)量流量控制器以驚人的準(zhǔn)確度和響應(yīng)時(shí)間大大提高實(shí)驗(yàn)質(zhì)量。
Inchfab 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中使用Alicat控制器的流程圖
Alicat很高興能成為這個(gè)重要的挑戰(zhàn)的一部分，Alicat的質(zhì)量流量控制器適應(yīng)性使得化學(xué)氣相沉積越來越好，助推許多未實(shí)現(xiàn)的技術(shù)早日實(shí)現(xiàn)。
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